Журнал | Кафедра физики полупроводников
EMSSL Лаборатория электронной микроскопии
и субмикронных структур,
© 2000
Части лекции: 1 |  2 |  3 |  4 |  5  ||   Фоторепортаж

Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур

Сегодняшняя лекция посвящена микроскопии, а вернее методу атомно-силовой микроскопии. Лекция моя будет разбита на несколько основных разделов, — в начале я расскажу об истории СЗМ (сканирующей зондовой микроскопии), сравню этот метод с другими микроскопическими методами, затем перейду к принципу работы атомно-силового микроскопа (АСМ). Далее я остановлюсь на изображениях полученных с помощью АСМ, и закончу эту лекцию перспективами АСМ. Но сначала я хотел бы рассказать о лаборатории, где в данный момент я работаю.

Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур.

Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур.

Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур, входящая в состав Института физики полупроводников СО РАН занимается исследованием атомных механизмов формирования поверхности и границ раздела в полупроводниковых материалах, созданием и исследованием структур пониженной размерности для микро- и наноэлектроники. Лаборатория ориентирована на исследование поверхности методами электронной микроскопии, суть которой заключается в том, что пучок электронов, взаимодействуя с поверхностью, рассеивается на ней и регистрирует её структуру, он может проходить образец насквозь — ПЭМ, или отражаться ОЭМ.

В лаборатории имеется уникальный сверхвысоковакуумный отражательный электронный микроскоп, позволяющий проводить in-situ эксперименты с полупроводниковыми материалами и имеющий только один аналог в мире в Японии. Также есть микроскопия высокого разрешения на базе ПЭМ Jeol-4000. В лаборатории есть целый ряд сканирующих электронных микроскопов.

Лабораторией руководит доктор физ.-мат. наук Александр Васильевич Латышев. В 1999 году он выиграл грант Миннауки и в лаборатории появился АСМ. Я работаю в группе с такими же молодыми ребятами, Насимовым Дмитрием, Косолобовым Сергеем, Савенко Владимиром (мы с Владимиром с огромной благодарностью вспоминаем А. С. Золкина, и с гордостью говорим — мы вышли из подвала), Прозоровым Алексеем, Высоцким Романом и Белкиным Сергеем. Основным направлением нашей деятельности является исследование поверхности кремния.
Следующая часть